第231章  历史性时刻，命名逐光【二合一求订阅】

    「我说老贺，今天居然这么平静，可有点不太像你了。」

    12月10日，周四。

    微电子装备总部大楼，毫米级实验室内，丁顺安看著面色淡然的贺鹏涛，忍不住主动搭话询问。

    经过将近两个月的研发，燕京材料研究院方面，成功制造出多环结构光源靶盘，并第一时间送到魔都。在分析研判后，决定于今天展开新一轮实验验证。

    由于这段日子里，微电子装备这边，也在全力攻坚集成电路等部件。

    可以说对国产极紫外光刻机的研发，已正式进入全面加速阶段。

    只要彻底解决稳定，且功率达到250瓦商用标准的极紫外光源，便又能往前迈出巨大一步。

    同时更好的反击海外舆论。

    而按照以往表现，面对这种国产极紫外光刻机，研发过程中的历史性关键点，贺鹏涛往往会格外紧张。甚至不惜亲自上手操作，生怕中途出现什么岔子，导致实验过程中发生变故。

    但今天他却一改常态。

    除面色镇定外，还把更多的工作，交给了自己的学生潘耀去做。

    他此刻，把丁顺安的话听进耳中，下秒瞥过目光。

    理所当然答道：「我相信徐总师的方案，自然没甚好担心的。」

    「至于潘耀嘛，总要给年轻人锻炼的机会，否则如何快速成长，肩负起未来的科研任务。」前脚才刚说完，紧接著他又特意补充一句。

    「这话确实没毛病。」丁顺安点点头自语般应声。

    话落。

    视线下意识，看向身旁正站的笔直的徐铭。

    那份胸有成竹的自信，确实让人安心。

    回想自己刚接触徐铭时，何尝不是和贺鹏涛一样。

    既操心国产极紫外光刻机的研发进度，就生怕如此年轻的徐铭，无法胜任国家重点项目总设计师的工作。

    直到上次验证极紫外光源时，过程中还忐忑不已。

    可现在却内心坦然，就像是提前看到了实验结果，认定必然成功。

    说实话刚意识到这种想法时，他自己都吓了一跳，毕竟这对一位资深院士来说确实不应该。

    科研实验是严谨的，在没有看到最终结果前，任何情况都有可能发生。

    失败更是再正常不过。

    但偏偏受徐铭的影响，形成了这份信心。

    只能说徐铭展现出来的天赋和水平，实在太超出常人有限的认知，让原本几乎不可能做到的难题，变成了一个个的现实。

    徐铭听著两位老院士的对话，并未开口参与交流。

    他身为项目总设计师，尽管璇玑系统那边，仍面临著随机几何分析框架的构建证明，然像今天这样，关乎著核心光源系统的实验，肯定还是要亲临现场坐镇的。

    所以在同苏振豪，安排好燕京那边的事宜，便专程赶回来一趟。

    在提出这项新的，获得稳定极紫外光源的方法时，他便有了改变光源靶盘结构，来提高光源功率的想法。

    既然50瓦功率的光源都验证成功，那么这次显然也不会有问题。

    确实不需要太担心。

    就当他念头停留在这里，只见潘耀迈步走过来，驻足后立即开口进行报告。

    「徐总师。」

    「演示装置和多环结构光源靶盘，以及雷射设备，都安装检测完毕，随时可以开始实验。」

    「您下指令吧。」

    徐铭闻言正了正脸色，接著不再有任何迟疑。

    嘴唇微动吐出几个字。

    「验证开始。」

    潘耀强安耐住激动回道：「是徐总师。」

    话音落下的同时，立刻转身回到实验装置控制系统屏幕前，在工程人员的操作下，正式启动雷射设备。

    透过观察窗，看向实验室内的那台演示装置。

    只见从多个雷射设备中，同时发射出一束高强度且高重复频率的近红外雷射，在照射到高速旋转的光源靶盘上后，雷射在每一个点上瞬间激发耦合态。

    辐射出稳定的极紫外光。

    与此同时。

    贺鹏涛和丁顺安两位院士，也难以继续保持平静，面部表情上隐隐浮现出激动之色。

    目光牢牢紧盯著，屏幕中实时反馈的数值。

    甚至下意识念出声来。

    「辐射出的光源波长，依旧为13.5纳米，属于极紫外光波段。」

    「输出光源稳定在80瓦————」

    「120瓦————

    ，「200瓦——

    「250瓦，我们验证成功了！」

    随著期望的数字终于出现，在声音落下瞬间，制室内顿时爆发出热烈的掌声，庆祝这一里程碑式重要时刻。

    「我早就说过，徐总师的方案没问题。」贺鹏涛待大家的掌声落下，抬手轻擦了下湿润的眼角，毫不掩饰堆在脸上的喜悦之情。  

    旁边的丁顺安，同样内心激动不已。

    视线依旧锁定在那台毫米级演示装置上，心情复杂连连感慨。

    「从我国开始重点研究光刻机，到现在多少年了，总算实现了可商用的，足以领先世界的核心光源系统，我这辈子没啥遗憾喽。」

    「才只是成功验证了核心光源系统，你就没遗憾了，起码也要看到咱们的极紫外光刻机问世。」贺鹏涛笑著接过话茬，跟在丁顺安后面补充了两句。

    丁顺安附和道：「有徐总师在，这是迟早的事。」

    说完两人转头看向徐铭。

    「徐总师，请允许我代表所有光机所人员，由衷向你表示感谢。」贺鹏涛最先开口道：「没有你的物理理论，我们根本不可能这么快，便攻克稳定功率的极紫外光源。」

    「仅这一项理论成果，就起码让咱们少走了几年，甚至十几年的弯路。」丁顺安也没沉默。

    面对两位院士的如此称赞，徐铭反应更快，连忙出声回应。

    「两位院士言重了，既然这个担子交给我，那我自然会尽最大努力做好。」

    「何况后面还有更重要的工作，需要我们大家完成。」

    把热烈氛围推向高峰。

    接下来的时间，实验室交给了潘耀负责。

    继续进行光源实验，好记录更加详细的数据，用于之后极紫外光刻机核心光源系统的组装。

    徐铭则和贺鹏涛与丁顺安两位院士，来到办公室安排后续工作。

    「下一步我们微电子装备，就会正式把新的极紫外光源技术，应用到光刻机的核心光源系统上，另外双工件台控制系统和计量检测系统，也都在同步的攻坚中，这些年集团的研究可不是一点成果没有。」

    办公室内丁顺安首先发言，在讲到最后一句时，能感受到话语中的自信。

    春城光机所擅长光刻机的核心光源系统，微电子装备却是主攻其他部件技术O

    尤其作为国产光刻机主力研发团队，肯定在部分领域也有著独到之处，甚至并不落后海外技术多少。

    如今最困难的极紫外光源被顺利解决，就好比在两截道路中间的大山中，打通了一条可通行的隧道，当车辆全速行驶起来，距离终点站又岂会远。

    贺鹏涛虽来自春城光机所，但对于微电子装备方面的研究还是比较认可的。

    尤其现在还进行了资源整合。

    闻言也当即讲出自己的看法和决心。

    「眼下我们有了极紫外光源，并且还是比轰击锡滴更加高效容易的技术，根据国内技术整体评估，我看最多两年时间，就能成功组装出首台国产极紫外光刻机。」

    「阿斯麦公司的新一代极紫外光刻机，恐怕也会在两三年时间内发布。」丁顺安想到什么接过话茬补充。

    贺鹏涛笑呵呵回复句。

    「那就刚好比一比，看看谁的极紫外光刻机，综合性能更加领先。」

    徐铭听完两人的对话，嘴角也不由得微微上扬，对阿斯麦公司的光刻机，还真涌现出些许期待。

    他也想看看，采用了全新物理现象理论，研发出的极紫外光刻机究竟能达到何种水准。

    估摸著拿下阿斯麦在行业中的地位，恐怕不会太难。

    思维思忖至此，他很快轻微摇了下头，暂时把这件事抛在脑后，主动提起接下来的正事。

    「后续极紫外光刻机的研发，就还拜托贺院和丁院来坐镇负责了，如果遇到什么技术瓶颈的话，随时通知我参加研讨会商议解决方案。」

    「等璇玑系统的开发稳定后，我会多关注这边的。」

    目前全新随机几何分析框架的构建，正值最后的关键几个证明步骤。

    等完成此理论，便能正式著手开发新的算法。

    在这种情况下，他肯定不能逗留在微电子装备，今天下午就要赶回燕京继续推导。

    主要璇玑系统和光刻机，都是高端晶片制造产业链中的重要环节，只不过一个属于前端一个属于后端。

    想实现百分之百国产化升级，就必须把璇玑系统和国产极紫外光刻机，同时研发出来才行，否则单独离开哪项都无法发挥出自身的作用。

    无论贺鹏涛还是丁顺安，他们自然都清楚，璇玑系统的重要性。

    不过在听完徐铭这番话之后，互相对视一眼，依旧能看出彼此瞳孔中的疑惑。

    本以为徐铭选择把精力放在新一代EDA上，只是借助总设计师的身份，好让国内EDA公司更好整合技术，加快全新一代极紫外光EDA工具算法问世。

    结果在璇玑系统项目发布后，他们才意识到，徐铭不单单是负责人那么简单。

    而是亲自参与了璇玑系统的开发。

    很难想像只是有著被燕大信院培养的经历，如何能去完成复杂庞大的EDA软体。

    要说一点不担忧，那绝对是假的。

    毕竟这要是等国产极紫外光刻机问世，配套的璇玑系统却迟迟无法完成，说不定反倒成了为海外做嫁衣。

    若当初徐铭转到信息算法领域也就罢了，关键精力基本全在数学和物理学科上。

    于是念头在脑海中快速闪过下，贺鹏涛院士实在没忍住心里的好奇，主动开□向徐铭确认了一句。  

    「徐总师。」

    「你真的在参与璇玑系统的开发工作？」

    说著便把目光牢牢锁定在徐铭身上，迫不及待等待徐铭的回答。

    就连旁边的丁顺安也是同样动作。

    徐铭看到两人表现，自然猜到他们在担心什么，不过话到嘴边却只是点头承认下来。

    其余并未过多解释。

    「没错。」

    他暂时卖了关子，紧随其后又笑著补充。

    「你们可要多加油才行，否则璇玑系统到时候，可会比国产极紫外光刻机先发布。」

    不多时。

    当一些工作安排交接完成，徐铭便不再继续逗留，很快离开动身返回燕京。

    大家在恋恋不舍的，目送徐铭身影，从自己视野中消失之后，贺鹏涛和丁顺安选择短暂留在原地，回想起刚才办公室里的话开口交流。

    「老贺，你说徐总师，能开发出璇玑系统吗？」

    「徐铭的天赋你又不是不知道，既然他有这个把握和底气参与，说不定真会在信息算法领域也做出贡献。」

    「眼下咱们的当务之急，是要尽快组装出，首台国产极紫外光刻机，我可不想被燕京那边领先。」贺鹏涛笑著丢下这句话便转身离开不再言语。

    只有丁顺安不知想到了什么，望著徐铭离开的方向低声感叹一句。

    「若是在信息算法领域也这么强，那可就太恐怖了。」

    针对250瓦稳定极紫外光源的验证成功，微电子装备这边依旧没有选择隐瞒，在第二天的上午便通过专门注册的官方帐号进行宣布。

    同时还面向全网，征集国产极紫外光刻机的名字。

    距离公布璇玑系统项目，才过去两个月左右，在极紫外光源上又取得了重大突破。

    对网友们来说，无疑是最大的惊喜。

    越发相信国产极紫外光刻机，用不了多久，就会面向国际舞台发布。

    情绪高涨激烈之下，大家踊跃参与名字征集，最终经各方面综合考量，将百分之百国产的，首台极紫外光刻机命名为逐光」系列。

    而随著璇玑系统和逐光的先后公布，海外主流媒体也终于有些意识到不对劲。

    无法想像号称人类文明科技结晶的光刻机，其核心光源系统为何如此简单，前后不过几个月的时间便被攻克。

    这种进展速度，不由得让人联想到，当初突然首飞并在极短时间内服役的歼2

    0战斗机。

    不过类似的担忧仅出现一瞬，便被清理出去。

    最终在一些媒体的报导，和行业人士的评价下，称华方的极紫外光源不等同于传统的极紫外光。

    其光刻效果也相差极大。

    表示就算掌握这样的稳定光源，研发出的光刻机也无法保证晶片的光刻效果。

    仍旧和阿斯麦的产品有著很大差距。

    根本不需要担心。

    然而这回国内，无论官方还是网友们，都对海外媒体的自娱自乐懒得去搭理。

    反正究竟谁是小丑，等双方的光刻机亮出来，自然是清清楚楚。

    至于备受关注和讨论的徐铭，就更加不会被外界的环境所影响，他从微电子装备回到燕大数院，便直接把自己关在办公室屋子里，完全沉浸到新随机几何分析框架的构建证明中。

    伴随著时间一分一秒流逝，步骤愈发完善同时，也再次获得新的学科经验值。

    本来正常情况下，凭借他如今的数学学科等级，想获得经验值不是一件很容易的事，就算去处理较难的问题也会非常有限。

    尤其涉及到擅长的数论和代数几何等分支。

    但眼下构建的新理论体系，却属于随机几何，严格意义上来讲的话，其工作实质相当于是将，微分几何和随机分析在非平凡层面进行了深度融合。

    转眼将近半个月过去。

    徐铭的证明工作，也顺利来到尾声。

    「接下来需要在流形上，定义全新的随机场论，并对随机几何的平均场宏观观测。」

    这天理教楼办公室，徐铭站在几块写字板前，大脑飞速运转使思维碰撞激发出灵感。

    口中自顾自低喃的同时，手上动作则越来越快，在指尖不断涌现出复杂，但严谨符合数学逻辑的公式和符号。

    「在流形（M，g）上，定义一个随机标量场φ（）。」

    「这个场代表有效反应完成度」。」

    「场的演化由一个新型的随机偏微分方程描述————」

    「导出宏观粗糙度R（q），与底层流形曲率功率谱之间的解析映射关系。」

    「由上可得在一定的标度极限下，无限多个随机微流形的统计效应，可以等价于一个有效平均流形，上的一个确定性但具有分数阶导数的反常扩散方程。」

    当结论的最后一个字写完，徐铭停下手上动作，原本认真严肃的神情，逐渐浮现出一抹欣喜笑容。

    「这些天的努力总算没有白费，终于搞定了。」

    从正式提出璇玑系统，到今天十二月底，总算成功证明了构建的随机几何分析框架理论。  

    也就是说借助他的这项理论，待完成开发出超导求解算法后，工程师只需测量或模拟宏观的粗糙度，就可以反向去推断出光刻胶的几何随机性缺陷，反之也可以通过调整化学配方，来直接预测宏观线条的质量。

    这种效率和作用，远不是海外的主流算法可以相比。

    毕竟能够像他这样，为了一个算法，直接构建出全新的数学理论工具。

    相信放眼全球，都找不出来第二个。

    在确定证明结论没有问题后，徐铭整个人迫不及待。

    简单收拾了一下，便急匆匆出门，准备前往华天科技向璇玑系统项目组宣布这个消息。

    因为这代表著，璇玑系统最核心的算法，终于能正式开始编写开发。

    如果放在以前的时候，他构建出新的数学工具，肯定会先告诉院里的田纲院士和老师张鲁平，并用最快的速度把框架体系整理为理论论文发表。

    毫不夸张的讲，尽管他构建的随机几何分析框架的理论工具，知名度上或许不如霍奇猜想。

    但实际意义和价值，对学界来说却是巨大的。

    恐怕发表之后，又会引起新一轮，数学界的大地震。

    奈何现在的话，他的目标是尽快开发出璇玑系统，可没时间去撰写纯数理论论文。

    只能先把这件事往后放放。

    等璇玑系统完成，首台国产逐光极紫外光刻机问世再去撰写论文，将之发表在数学学报上。

    倒也算他这个副主编，为自家数学期刊崛起做贡献。

    另外该说不说，自霍奇猜想被证明后，数学界虽涌现出不少，对导出平展Motivic上同调复形理论的研究，带来的热度和影响力却非常有限。

    似乎他这个数学皇帝不出手，学界就没盛会了，当真是独自站在山巅的孤独O

    约摸花了半个小时，徐铭乘坐专车，顺利到达华天科技公司所在的科技园区。

    刚走进去便见很多人主动打招呼。

    「徐总师好。」

    「徐总师，需要我为您喊人吗？」

    「告诉苏组长，让他集合所有项目成员，五分钟后在高层会议室召开项目会议。」徐铭在一位助理面前停下脚步沉声抛出两句话。

    后者看到今天徐铭突然过来，且面色严肃，哪里会不知道是有重要事情。

    于是不敢有丝毫耽搁，立马过去安排。

    「好的徐总师，我这就去联系。」

    徐铭目送对方离开，便直接乘坐电梯，先一步前往最高层的会议室。

    这段时间他虽主要待在燕大，但对于华天科技这边已然非常熟悉，很快便来到会议室坐在主座位置上。

    差不多他屁股刚坐下没有多久，便见苏振豪等人几乎是小跑著涌了进来。

    连其中几位稍微上年龄的成员都不例外。

    「徐总师，是有新任务安排吗？」

    苏振豪近前后，整个人都顾不上坐下，连忙向徐铭主动询问起来。

    两个多月时间过去，项目组对新的物理模型，已然能熟练进行仿真，但因缺少设计方案中的算法，虽拥有很高的仿真精度却需要极大的计算量。

    按照这种情况继续下去，想开发出璇玑系统，将会耗费大量时间和超算资源。

    因此在得知徐总师突然召开项目会议，顿时便意识到了什么，强压著心里面涌现出来的激动和兴奋，用最快速度来到楼上会议室。

    「大家先坐吧。

    徐铭嘴角挂著淡淡笑容，先招呼众人坐下，然后方宣布令人期待的好消息。

    「今天的项目会议很简单，内容只有一件事，那就是从明天开始全力开发璇玑系统的核心算法。」

    1


　　(https://www.mirenxs.com/mi/69780/12103.html)


1秒记住迷人小说网：www.mirenxs.com。手机版阅读网址：m.mirenxs.com