第224章  让全球意外的重磅成果【求订阅】

    」辛苦张教授了，这次你们可是帮了我们大忙。」

    徐铭把张彦昂的话听完，当即主动开口应声，心里面也顿时松了口气。

    确定光源靶盘很快就能解决，这标志著让大家期待的验证实验，终于能正式开展迈出重要的一步，将实验室已准备好的毫米级演示装置，变成能产生足够功率极紫外光的实用光源。

    作为材料研究院研，光源靶盘项目负责人，张彦昂闻言却丝毫没有居功。

    下秒连忙摆手道：「和徐总师你要做的事相比，我们的工作，就显得很微不足道了，能为国产高端光刻机的研发工作出上力，这是每位科研人员最大的荣誉。」

    「况且如果没有徐总师提供设计方案，所里也没法在短时间内研发出所需的靶盘。」

    他这番话可以说没有任何水分，完全发自肺腑。

    刚接到科学院总部的通知，得知要配合光刻机专项团队研发特殊光源靶盘，整个所里上下可谓严阵以待。

    第一时间抽调了最优秀的科研人员，组成小组来专门负责此项目。

    毕竟大家都知道，这关系到国产高端光刻机研发，是当前国家最重要项目。

    张彦昂被任命为项目负责人后，深知涉及极紫外光源所具有的难度，基本上做好了长期苦战的准备，无论如何都要完成这项任务才行。

    否则就是给材料院丢脸。

    然在顺利和徐铭对接拿到相关资料后，整个人却瞬间呆滞住。

    因为资料中的内容，并非只是对靶盘的需求，还包括了详细的设计方案。

    尤其是在矽基圆盘上覆盖特殊薄膜。

    并且经过团队讨论后，确定此方法的可行性极高。

    于是最终他拍板决定直接按方案进行研发。

    仅仅几次实验，便取得巨大成功，让大家对徐铭这位最年轻的总设计师有了新认知。

    本以为由年轻数学家担任总设计师，负责国产高端光刻机的研发，会影响此专项的进度以及研发周期，光熟悉相关内容可能都要大量时间。

    结果事情的发展和预料的完全不同。

    徐铭不但很快确定了验证实验的整个流程，还在材料领域也有这么高水平。

    整个人仿佛是一个巨大的宝库，随时都能带来惊喜。

    不管外界作何评价，反正他们材料研究院的人，经过这次事件之后，均对徐铭抱有非常大期待。

    坚定认为国产高端光刻机，绝对能在徐铭手中诞生。

    特别是张彦昂，几乎就差在脸上写出，自身对徐铭的敬佩和崇拜。

    两人在交流过程中，主动追问自己的一些不解，确保下次实验能研发出完美靶盘的同时，也使得自身的水平有了一定的提升。

    至于年龄上的差距，则直接抛在脑后。

    毕竟真正的天才可不会讲年龄。

    徐铭自然能感受出，张彦昂语气中的情绪，对此他自然也没有藏拙。

    在交谈过程中，讲述自己对光源靶盘特性的理解。

    光源靶盘本质上，主要是为他提出的等离激元耦合态理论服务，保证雷射能在每一个点上激发耦合态，加上他具备的量子材料经验和相场模型，给出相关的设计方案并非什么困难的事情。

    与此同时。

    这次跟随著一起过来的潘耀，站在旁边望向正同张彦昂交流的徐铭，眼中不断闪过激动的精光。

    毫不掩饰脸上浮现出的崇拜。

    没办法。

    本以为徐总师在短短几天内，完善设想理论和验证实验过程，已超出了单纯理论数学家的范畴，有资格担任总设计师的职位。

    未曾想在半导体材料研发上同样出色。

    光凭对光源靶盘的设计，就能节省大量的研发时间。

    让人不由得愈发对徐铭好奇，究竟其身上还隐藏著多少可以挖掘的东西。

    「徐总师太厉害了，竟然研究过这么多学科，这趟燕京确实没有白来。」

    自顾自在心中低喃一句，已经迫不及待想看到，验证实验的正式展开。

    徐铭没有立刻返回魔都微电子装备总部，而是选择在燕京滞留了几天，除帮助张彦昂团队加快最新光源靶盘的研发制造，中间还返回了燕京大学一趟，顿时引起学生们山呼海啸的反应。

    那动静完全不输国际大明星，线下举办活动的动静。

    主要今年新入学的新生刚结束完军训，有机会能看到自己的偶像岂能错过。

    最终徐铭好不容易脱身后，只得和陈璐在燕园外面约见面享受难得的放松。

    值得一提的是，按照之前双方家长的意见，明年陈璐毕业之后，两人也就该结婚成家，毕竟年龄上也不算小。

    对此徐铭并无意见。

    几天时间过去。

    徐铭终于从材料院，拿到需要的光源靶盘。

    「幸不辱使命，总算按时完成了任务，希望能帮助徐总师在验证中取得成效「」

    材料研究院门口，待把光源靶盘装好封存完，张彦昂主动和徐铭握手表达自己的期望。  

    他这两天没少拉著徐铭交流探讨，可以说收获满满。

    而光源靶盘项目，也是他们材料研究院，有史以来从接受到获得成果，使用周期最短的项目，创造出了院里面全新的研发纪录。

    这全部依仗于徐铭。

    把张彦昂的话悉数听进耳中，徐铭松开对方手，嘴角浮现出淡淡笑容沉声感谢。

    「谢谢你们的帮忙，对于最终的实验结果，等数据出来我会第一时间告诉张教授。」

    「我期待著你的好消息。」张彦昂满脸认真。

    说完。

    徐铭便也不再继续耽搁时间，当即同潘耀出发，立刻动身返回微电子装备总部。

    10月6日，周二。

    尽管正值假期的尾巴，但微电子装备研究所内，依旧有著大量人员忙碌。

    特别相比平时的时候，此刻每个人脸上表情，都透露著一股严肃，甚至很难看到有轻松的笑容。

    之所以如此，是因为今天，将进行验证实验。

    国产光刻机专项重点项目，可以说能促成且进展的如此顺利，很大程度上正是依靠徐铭提出的，全新获得稳定高效极紫外光源的方法。

    这为国产高端光刻机的研发，带来了希望。

    如果最终实验验证失败，或者数据不理想，那么对国内所有人来说，无疑是从头浇了盆冷水。

    不但会影响后续的研发工作，更难保证眼下这时候大家聚起来的心气。

    尤其还会让海外方面，更加猖狂有底气。

    可以说在眼下这种局面中，迫切需要一个好消息，来扭转局势振奋人心。

    所以这也就使得今天的实验，绝对不能失败。

    「所有装置已经检查完毕，符合实验的条件，我们随时可以开始。」

    上午九时许。

    总部大楼实验室内，全副武装的贺鹏涛，看向那台搭建了一段时间的毫米级演示装置，待完成相应的工作后立刻对总设计师进行报告。

    虽然他早就入选科学院院士，但这次为了实验验证的顺利进行，果断选择亲自动手参与实验。

    尽可能保证不出差错。

    同样有此操作的丁顺安院士，则正站在徐铭身旁。

    「开始吧。」

    徐铭对于这种重要场面，可以说早就司空见惯，闻言仅点头吐出几个字，脸上的表情始终保持镇定，浑身散发出胸有成竹的自信。

    使得周围人安心不少。

    贺鹏涛接到指令，转过身看向身后的潘耀，让其进行下一步操作。

    「小潘，安装光源靶盘，」

    「是老师。」潘耀掷地有声回答。

    随即在实验系统控制室内几人的注视下，矽基光源靶盘安装到在演示装置上，终于为其拼上了最后一块拼图。

    「好多年没有像现在这么紧张了，希望实验的结果不会辜负大家的期望。」这时丁顺安还是忍不住开口，在深吸了一口气后才算让情绪稳定下来。

    之前微电子装备研发90纳米工艺光刻机时，都未曾像今天这么紧张过。

    不知是海外那份文件给国内带来的压力，还是徐铭这几个月以来，所展现出来的实力太过让人震惊意外。

    只能说在拉高了预期目标之后，越是容易患得患失。

    生怕会出现不好的结果。

    徐铭听到丁顺安院士的话，顺势扭过头，脸上堆著淡淡的笑容接过话补充。

    「放心吧丁院，我们前期已经准备的足够多，相信实验验证绝不会让大家失望。」

    「说的没错，是我心态不稳了。」丁顺安点点头当即笑著附和句。

    尽管他这个身份和年龄，竟还不如徐铭沉得住气，但心里面却没丝毫不适，毕竟以徐铭的水平，很难会去把他当做三十不到的年轻人。

    哪怕年龄确实如此。

    就这样。

    很快伴随著验证实验正式开始，在众人的观察和各种监测仪器设备的记录下，只见从雷射设备中，发射出一束高强度且高重复频率的近红外雷射。

    在照射到高速旋转的光源靶盘上后，雷射在每一个点上瞬间激发耦合态。

    辐射出稳定的极紫外光。

    「各项数据怎么样？」

    贺鹏涛最先反应过来，立刻望向坐在屏幕前的潘耀大声询问具体数据，想知道最终结果究竟如何。

    虽说包括徐铭在内的其他人，没有再开口，但大家的目光无一例外，都集中在了潘耀的身上，因为过度紧张甚至有人都快要屏住呼吸。

    约摸过去了将近两分钟时间，潘耀的声音终于在实验室内响起。

    能够听出其中夹杂著明显的激动情绪。

    「有结果了。」

    「雷射在光源靶盘上，成功激发出等离激元耦合态。」

    「辐射出的光源波长为13.5纳米。」

    「输出光源稳定在50瓦，转化效率突破15%。」

    几乎是潘耀话音落下的瞬间，整个实验室内顿时爆发出雷鸣般的热烈鼓掌声，每个人脸上都肉眼可见的浮现出发自内心的喜悦。  

    「成功了。」

    「我们掌握了稳定的极紫外光源，这是国产高端光刻机研发的一大步。」

    「徐总师的设想是正确的。」

    「很难想像首次实验，转化效率就达到了15%，这可比海外主流的极紫外光源技术高效许多。」

    「简直是在做梦。」

    凡是抽调进光刻机专项研究组的成员，都属于两个光机所内的优秀科研人员，对极紫外光源的好处无比清楚。

    但就是这样决定著高端光刻机工艺的光源，在几个月前对国内方面来说，还是可望而不可及的遥远存在，只有海外的阿斯麦公司才能研发极紫外光刻机。

    可此刻在微电子装备总部实验室内，却诞生出了转化效率高达15%的稳定极紫外光。

    毫不夸张的讲，这项成果无论放在哪里，都是地震。

    足以让全世界感到吃惊。

    待众人的情绪逐渐平复下来，贺鹏涛依旧查看著屏幕中反馈的数据，随后恋恋不舍收回目光，才直起身体看向面前的徐铭面色潮红。

    「太让人惊喜了，采用新理论得到的极紫外光，已经远远超过海外主流的轰击锡滴技术。」

    「解决高端光刻机的核心光源系统，接下来我们的国产光刻机研发，肯定会迎来一段飞速发展的阶段。」

    「我提议应该立刻向外界宣布此消息，让海外知道华国有能力研发高端光刻机。」

    对此旁边的丁顺安也没保持沉默，闻言虽不愿意破坏眼下的气氛，但最终嘴唇微动还是跟在后面补充了句。

    「可惜输出的极紫外光，只稳定在50瓦，距离商用所需的250瓦还有差距，不过毕竟是首次进行验证实验，这个结果已经远远超出预计了。

    徐铭对此次验证的成功并不意外，就连丁顺安口中的功率问题也在预料之内。

    主要今天的实验，核心挑战是新理论方法，是否能稳定输出极紫外光，事实证明他的设想是非常成功的，要确定了这件事之后才能解决功率问题。

    于是还没等丁顺安的遗憾情绪停留多久，他当即主动开口回应上一句，并未在这个时候还故意去卖关子。

    「关于光源的功率问题，可以通过将光源靶盘设计成多环结构，让多路雷射同时激发来提升，应该能够满足商用的250瓦功率。」

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